물리학과 정동근 교수연구팀은 "기계적 고강도 플라즈마 저유전상수 박막 및 그 제조방법 (Plasma polymerized thin film having high hardness and low dielectric constant and manufacturing method thereof)" 특허를 미국과 국내에 등록 했으며 국내 대기업에 성공적으로 기술을 이전했다. 본 특허의 내용은 외부 회로와의 연결을 위한 반도체 배선 공정에서 배선 간 절연 물질로 이용되는 초저유전 상수 (Ultra low-k) 물질을 기존의 전구체(precursor)와는 다른 구조를 가진 전구체를 이용하여 Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) 방법으로 기계적 강도는 우수하면서 좀 더 낮은 유전상수를 갖는 박막을 개발 한 것이다. 반.......
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